正硅酸乙酯是无色液体，稍有气味。熔点-77℃，沸点165~169℃。微溶于水，溶于乙醇、乙醚。在潮湿空气中逐渐混浊、静置后析出硅酸沉淀。无水分存在时稳定，蒸馏时不分解。能与乙醇和乙醚混溶，微溶于苯，几乎不溶于水，但能逐渐被水分解成氧化硅。易燃。用于精密铸造，作为砂型的粘结剂；用正硅酸乙酯蒸气处理的金属表面可防腐防水。正硅酸乙酯可用来对金属表面渗硅，处理光学玻璃可提高透光度；完全水解后产生的极细氧化硅粉可用于制造荧光粉。正硅酸乙酯是有机硅油的原料。正硅酸乙酯还可用于制造耐热、耐化学品的涂料。在日本，90%的正硅酸乙酯用作防腐蚀涂料（富锌漆）的基料。