关键成本与质量控制点
成本核心:金盐、铜盐等贵金属原料占比高(约占原材料成本的 30%-40%),细线路加工导致的良率损耗会显著推高单位成本。
质量控制:需检测镀层厚度(XRF 检测)、附着力(胶带测试)、耐腐蚀性(盐雾测试),以及线路完整性(AOI 检测)。
面板级加工:扇出型封装常采用面板级封装(FOPLP)方式,如盛美上海的 Ultra ECP ap-p 面板级电镀设备可加工尺寸高达 515x510 毫米的面板,相比传统晶圆级封装,能提高生产效率,降低成本。
高精度要求:需满足高密度互连(HDI)、超细线路 / 焊盘(线宽 / 线距常<20μm)的要求,对镀层均匀性、致密度、附着力、纯度等方面要求,例如铜镀层孔隙率需≤1 个 /cm²。
复杂结构处理:对于埋入式扇出型封装结构,可能存在深宽比较大的通孔,电镀时需要特殊工艺处理,以避免产生空洞等缺陷。
工艺流程
前处理:包括对载板进行开槽、打通孔等操作,然后将载板贴在承载胶上,植入芯片和金属块,进行次塑封,形成塑封层;之后拆除承载胶,对一次塑封件另一面进行第二次塑封,形成第二塑封层。
电镀准备:在塑封层和第二塑封层上打盲孔,以露出芯片的 IO 接口和金属块,然后对盲孔进行真空溅射,并在二次塑封件的上、下两面建立种子层。
电镀沉积:通过电解或化学沉积方式,让金属离子在载板表面沉积形成所需的镀层,如铜、镍、金、锡等镀层,在电镀过程中需要控制电场、电镀液成分、温度、电流密度等参数,以确保镀层的质量和性能。
后处理:电镀完成后,进行清洗、烘干等操作,去除表面残留的电镀液和杂质,然后对镀层进行检测,如检测镀层厚度、附着力、孔隙率等,确保产品质量符合要求。
通讯载板电镀加工关键技术
电镀液配方优化:为了实现高精度的电镀效果,需要针对不同的镀层和工艺要求,优化电镀液配方。例如,铜镀液中铜离子浓度、硫酸浓度以及添加剂的种类和含量等都需要控制,以保证镀层的均匀性、致密度和附着力。
添加剂控制:添加剂在通讯载板电镀中起着关键作用,通过控制抑制剂、光亮剂和整平剂等添加剂的浓度和比例,可以实现超细线路的均匀电镀,避免出现镀层桥连、空洞等缺陷。
设备与工艺参数调控:先进的电镀设备能够控制电场、电流密度、温度、时间等参数,确保电镀过程的稳定性和一致性。例如,在脉冲电镀中,通过合理设置脉冲参数,可以改善镀层的结晶结构,提高镀层的性能。

