核心工艺要求
镀层精度:厚度公差需控制在 ±0.1μm 内,镀层均匀性误差不超过 5%。
适配细线路需求:针对 IC 载板的微线路(线宽 / 线距<20μm),需避免镀层桥连、空洞。
材质兼容性强:需匹配 ABF 膜、BT 树脂、陶瓷等不同载板基材,不损伤基材性能。
关键成本与质量控制点
成本核心:金盐、铜盐等贵金属原料占比高(约占原材料成本的 30%-40%),细线路加工导致的良率损耗会显著推高单位成本。
质量控制:需检测镀层厚度(XRF 检测)、附着力(胶带测试)、耐腐蚀性(盐雾测试),以及线路完整性(AOI 检测)。
面板级加工:扇出型封装常采用面板级封装(FOPLP)方式,如盛美上海的 Ultra ECP ap-p 面板级电镀设备可加工尺寸高达 515x510 毫米的面板,相比传统晶圆级封装,能提高生产效率,降低成本。
高精度要求:需满足高密度互连(HDI)、超细线路 / 焊盘(线宽 / 线距常<20μm)的要求,对镀层均匀性、致密度、附着力、纯度等方面要求,例如铜镀层孔隙率需≤1 个 /cm²。
复杂结构处理:对于埋入式扇出型封装结构,可能存在深宽比较大的通孔,电镀时需要特殊工艺处理,以避免产生空洞等缺陷。
关键技术
电镀液配方:例如酸性铜盲孔填充电镀液通常为高浓度的铜(200g/L 至 250g/L 硫酸铜)和较低浓度的酸(约 50g/L 硫酸),并添加抑制剂、光亮剂和整平剂等有机添加剂,以控制电镀速率,获得良好的填充效果和物理特性。
添加剂控制:通过控制添加剂的浓度和比例,利用抑制剂、光亮剂和整平剂的不同作用,实现盲孔的自下而上填充,避免大凹陷、敷形填充等问题,同时保证镀层的均匀性和表面质量。

