首先，进入净化室，工作人员要穿上专业的无污染的防静电服，并且带好帽子和口罩，在门口处还要做好风浴轻尘，这样才能够确保自身不带污染进入室内；所有的清洁工具要提前准备好，并且做好相关的。
进入净化室之后，要将清洁工具放在指定位置，不可以随意乱放，在设备或者是东西密集的地方，要先做好转移，在进行清洁工作。地面的垃圾要捡起来，不能用扫把，所有垃圾要分好排列次序，再逐步清除出去。柜子、地面污渍、水珠等清洁要用无尘布。
净化室一些特殊地方的清洁，必须先要申请批准才可以进行，例如天花板、空调出风口、高架地下版，清洁难度比较大的，都需要做好相关的清洁程序申请，做好计划、准备好材料、得到批准之后才可以进行。